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FESTO真空傳感器的工作原理
點擊次數:2364 更新時間:2022-06-08

       東莞市廣聯自動化科技有限公司本著誠信為本,質量至上的宗旨,力求優良的服務,合理公道的價格,為各類用戶提供優良合理的技術方案和優質的售前售后服務,竭誠為廣大新老客戶服務與合作!下面我就來為各位介紹一下FESTO真空傳感器的工作原理詳情如下:

一、FESTO真空傳感器的工作原理

       FESTO真空傳感器的工作原理是介質的壓力直接作用在傳感器的膜片上,使膜片產生與介質壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻發生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉換輸出一個對應于這個壓力的標準信號。

1、FESTO真空傳感器的原理

       壓阻式FESTO真空傳感器的測量部件是一個裝有固態壓力芯片,該芯片利用半導體材料的壓阻效應,在特定晶面上,采用集成電路工藝技術擴散成四個等值電阻,組成一個惠斯登電橋,使得形變與橋阻變化形成一一對應關系,當壓力變化時,電橋失去平衡,輸出一個與壓力成正比的電信號,再由感應智能芯片進行非線性修正和溫度補償,最終輸出與壓力成線性對應關系的標準信號。

       壓阻式FESTO真空傳感器的測量部件是一個裝有固態壓力芯片,該芯片利用半導體材料的壓阻效應,在特定晶面上,采用集成電路工藝技術擴散成四個等值電阻,組成一個惠斯登電橋,使得形變與橋阻變化形成一一對應關系,當壓力變化時,電橋失去平衡,輸出一個與壓力成正比的電信號,再由感應智能芯片進行非線性修正和溫度補償,最終輸出與壓力成線性對應關系的標準信號。原理圖如圖2 所示。

2、FESTO真空傳感器的理論函數

       壓阻式FESTO真空傳感器是壓力變送器的一種,是將需要測量的真空變量轉換為可輸出的標準信號,輸出信號與真空變量之間有一定的函數關系,主要用于測量過程中真空參數的測量與控制 [2]  。典型的二線制壓阻式FESTO真空傳感器的測量范圍0 ~ 100 kPa、工作電壓為12 ~ 36 V,工作電流為4 ~ 20 mA 的標準信號輸出,采用V /I 轉換電路且零位可自由遷移。壓阻式FESTO真空傳感器輸出信號和真空度的函數關系式如公式( 1) :I = 4 + ( 20 - 4) P' ( 1)式中: P'為某一真空狀態下的示值,kPa; P 為傳感器的滿量程值,kPa; I 為P'真空狀態下對應的輸出電流值,mA。

       通過公式( 1) 可以得出某一FESTO真空傳感器在測量范圍內任意真空度對應的理論電流輸出值,為其準確信號輸出提供參考。

       在對FESTO真空傳感器校準時,由于測量誤差是按照測量準確度等級劃分的,典型的壓阻式FESTO真空傳感器測量誤差和準確度間的函數關系如公式( 2) :△A = ( 20 - 4) δP ( 2)式中: △A 為測量誤差的上下限值; P 為此傳感器的滿量程值,kPa; δ 為某一FESTO真空傳感器標注的準確度等級。

       準確度等級是傳感器的主要技術指標,是一個定性的概念,通過公式( 2) 可以換算出FESTO真空傳感器在某一準確度等級下的測量允許誤差限,可以判斷FESTO真空傳感器標注的準確度等級是否正確,

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